對于干法工藝而言，研磨和分級設備才是整個體系中極為關鍵的過程。硅微粉研磨設備主要選用球磨機，能耗相對低，產能大。而對于部分純度要求較高的物料，可使用氣流磨，因氣流磨不會引入磨介，但它的能耗相對較高，產能低。
在物料的研磨過程中，只有部分粉體達到粒度要求，已經達到粒度要求的產品若未及時分離，就會造成物料破碎，而部分粉體因已經粒度過細，容易發生凝集，并再次變為大顆粒，從而影響了研磨效率。
想要生產低熔點，對氣流磨的要求也會相應增加，一方面，破碎效率要高，要達到可以產生足夠的細顆粒。此外，分級精度也要足夠高，這樣才能保證已經粉碎的細顆?？沙浞址旨壍疆a品中，同時又不會帶入大顆粒。
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